Siliċidu tat-Tungstenu

Siliċidu tat-tungstenu WSi2 jintuża bħala materjal ta 'xokk elettriku fil-mikroelettronika, shunting fuq wajers tal-polysilicon, kisi kontra l-ossidazzjoni u kisi tal-wajer ta' reżistenza.Is-siliċidu tat-tungstenu jintuża bħala materjal ta 'kuntatt fil-mikroelettronika, b'reżistività ta' 60-80μΩcm.Huwa ffurmat f'1000 ° C.Normalment jintuża bħala shunt għal-linji tal-polysilicon biex iżid il-konduttività tiegħu u jżid il-veloċità tas-sinjal.Is-saff tas-Silicide tat-tungstenu jista 'jiġi ppreparat permezz ta' depożizzjoni kimika tal-fwar, bħal depożizzjoni tal-fwar.Uża monosilane jew dichlorosilane u hexafluoride tat-tungstenu bħala gass tal-materja prima.Il-film depożitat mhuwiex stojkjometriku u jeħtieġ li l-ittemprar jiġi trasformat f'forma stojkjometrika aktar konduttiva.

Is-siliċidu tat-tungstenu jista 'jissostitwixxi l-film tat-tungstenu ta' qabel.Is-siliċidu tat-tungstenu jintuża wkoll bħala saff ta 'barriera bejn is-silikon u metalli oħra.

Is-siliċide tat-tungstenu huwa wkoll siewi ħafna f'sistemi mikroelettromekkaniċi, li fosthom is-siliċidu tat-tungstenu jintuża prinċipalment bħala film irqiq għall-manifattura ta 'mikroċirkwiti.Għal dan il-għan, il-film tas-siliċidu tat-tungstenu jista 'jiġi nċiżi bil-plażma bl-użu, pereżempju, tas-siliċidu.

Rich Special Materials tispeċjalizza fil-Manifattura ta 'Sputtering Target u tista' tipproduċi Materjali ta 'Sputtering tat-Tungstenu Silicide skond l-ispeċifikazzjonijiet tal-Klijenti.Għal aktar informazzjoni, jekk jogħġbok ikkuntattjana.