L-industrija tas-semikondutturi ħafna drabi tara terminu għal materjali fil-mira, li jistgħu jinqasmu f'materjali tal-wejfer u materjali tal-ippakkjar.Il-materjali tal-imballaġġ għandhom ostakli tekniċi relattivament baxxi meta mqabbla mal-materjali tal-manifattura tal-wejfer.Il-proċess ta 'produzzjoni ta' wejfers prinċipalment jinvolvi 7 tipi ta 'materjali semikondutturi u kimiċi, inkluż tip wieħed ta' materjal fil-mira sputtering.Allura x'inhu l-materjal fil-mira?Għaliex il-materjal fil-mira huwa daqshekk importanti?Illum se nitkellmu dwar x'inhu l-materjal fil-mira!
X'inhu l-materjal fil-mira?
Fi kliem sempliċi, il-materjal fil-mira huwa l-materjal fil-mira bbumbardjat minn partiċelli ċċarġjati b'veloċità għolja.Billi tissostitwixxi materjali fil-mira differenti (bħal aluminju, ram, azzar li ma jissaddadx, titanju, miri tan-nikil, eċċ.), Jistgħu jinkisbu sistemi ta 'film differenti (bħal superhard, reżistenti għall-ilbies, films ta' liga kontra l-korrużjoni, eċċ.).
Fil-preżent, il-materjali fil-mira tal-sputtering (purità) jistgħu jinqasmu fi:
1) Miri tal-metall (aluminju pur, titanju, ram, tantalu, eċċ.)
2) Miri tal-liga (liga tal-kromju tan-nikil, liga tal-kobalt tan-nikil, eċċ.)
3) Miri ta 'kompost taċ-ċeramika (ossidi, siliċidi, karburi, sulfidi, eċċ.).
Skont swiċċijiet differenti, jista 'jinqasam fi: mira twila, mira kwadra, u mira ċirkolari.
Skont oqsma ta 'applikazzjoni differenti, jista' jinqasam fi: miri taċ-ċippa tas-semikondutturi, miri tal-wiri ta 'pannelli ċatti, miri ta' ċelloli solari, miri ta 'ħażna ta' informazzjoni, miri modifikati, miri ta 'apparat elettroniku, u miri oħra.
Billi tħares lejn dan, għandek tkun kisbu fehim ta 'miri ta' sputtering ta 'purità għolja, kif ukoll l-aluminju, titanju, ram, u tantalu użati fil-miri tal-metall.Fil-manifattura tal-wejfers tas-semikondutturi, il-proċess tal-aluminju ġeneralment ikun il-metodu ewlieni għall-manifattura ta 'wejfers 200mm (8 pulzieri) u taħt, u l-materjali fil-mira użati huma prinċipalment elementi tal-aluminju u tat-titanju.Manifattura tal-wejfer ta '300mm (12-il pulzier), l-aktar bl-użu ta' teknoloġija avvanzata ta 'interkonnessjoni tar-ram, prinċipalment bl-użu ta' miri tar-ram u tat-tantalu.
Kulħadd għandu jifhem x'inhu l-materjal fil-mira.B'mod ġenerali, bil-firxa dejjem tikber ta 'applikazzjonijiet taċ-ċippa u d-domanda dejjem tikber fis-suq taċ-ċippa, definittivament se jkun hemm żieda fid-domanda għall-erba' materjali tal-metall tal-film irqiq mainstream fl-industrija, jiġifieri aluminju, titanju, tantalu u ram.U bħalissa, m'hemm l-ebda soluzzjoni oħra li tista 'tissostitwixxi dawn l-erba' materjali tal-metall tal-film irqiq.
Ħin tal-post: Lulju-06-2023