1、 Preparazzjoni sputtering
Huwa importanti ħafna li żżomm il-kamra tal-vakwu, speċjalment is-sistema ta 'sputtering nadifa.Kwalunkwe residwu ffurmat minn żejt lubrikanti, trab u kisi preċedenti se jiġbor fwar tal-ilma u sustanzi oħra li jniġġsu, li jaffettwaw direttament il-grad tal-vakwu u jżidu l-possibbiltà ta 'falliment li jifforma film.Ċirkwit qasir jew arcing fil-mira, wiċċ tal-film mhux maħdum u kontenut eċċessiv ta 'impurità kimika ħafna drabi huma kkawżati minn kamra ta' sputtering mhux nadifa, gun sputtering u mira.Sabiex taderixxi mal-karatteristiċi tal-kompożizzjoni tal-kisi, huwa meħtieġ li jitnaddaf u nixxef il-gass sputtering (argon jew ossiġnu).Wara li s-sottostrat jiġi installat fil-kamra ta 'sputtering, l-arja jeħtieġ li tiġi estratta biex tilħaq il-vakwu meħtieġ mill-proċess.Il-kopertura tal-ilqugħ fiż-żona skura, il-ħajt tal-kavità u l-wiċċ ta 'ħdejha wkoll jeħtieġ li jinżammu nodfa.Meta tnaddaf il-kamra tal-vakwu, aħna nirrakkomandaw li tuża l-blast blasting tal-ballun tal-ħġieġ biex tittratta l-partijiet fit-trab, flimkien ma 'arja kkompressata biex tneħħi r-residwi bikrija ta' sputtering madwar il-kamra, u mbagħad lustrar bil-kwiet il-wiċċ estern b'sandpaper mimli alumina.Wara l-illustrar tal-karta tal-garża, titnaddaf bl-alkoħol, l-aċetun u l-ilma dejonizzat.Flimkien, hija favur l-użu ta 'vacuum cleaner industrijali għal tindif awżiljarju.Il-miri prodotti mill-metall Gaozhan huma ppakkjati f'boroż tal-plastik issiġillati bil-vakwu,
Mibnija fl-aġent li ma jgħaddix umdità.Meta tuża l-mira, jekk jogħġbok tmissx il-mira direttament b'idejk.Nota: meta tuża l-mira, jekk jogħġbok ilbes ingwanti ta 'manutenzjoni nodfa u ħielsa mill-lint.Qatt tmiss il-mira direttament b'idejk
2、 Tindif fil-mira
L-iskop tat-tindif tal-mira huwa li jitneħħa t-trab jew il-ħmieġ li jista 'jkun hemm fuq il-wiċċ tal-mira.
Il-mira tal-metall tista 'titnaddaf f'erba' passi,
L-ewwel pass huwa li tnaddaf b'ċarruta ratba mingħajr lint mxarrba fl-aċetun;
It-tieni pass huwa simili għall-ewwel pass, tindif bl-alkoħol;
Pass 3: naddaf b'ilma dejonizzat.Wara li taħsel b'ilma dejonizzat, poġġi l-mira fil-forn u nixxef f'temperatura ta '100 ℃ għal 30 minuta.
It-tindif tal-miri ta' l-ossidu u taċ-ċeramika għandu jsir b'“ċarruta ħielsa mill-lint”.
Ir-raba 'pass huwa li taħsel il-mira b'argon bi pressjoni għolja u gass ta' ilma baxx wara li tneħħi ż-żona fit-trab, sabiex tneħħi l-partiċelli kollha ta 'impurità li jistgħu jiffurmaw ark fis-sistema ta' sputtering
3、 Apparat fil-mira
Fil-proċess ta 'installazzjoni fil-mira, Z prekawzjonijiet importanti huma li jiżguraw konnessjoni tajba ta' konduzzjoni termali bejn il-mira u l-ħajt tat-tkessiħ tal-pistola sputtering.Jekk il-warpage ta 'l-istave li jkessaħ huwa sever jew il-warpage tal-pjanċa ta' wara huwa sever, l-apparat fil-mira se jinqasam jew jitgħawweġ, u l-konduttività termali mill-mira ta 'wara sal-mira se tkun affettwata ħafna, li tirriżulta fil-falliment tad-dissipazzjoni tas-sħana fil-proċess ta 'sputtering, u l-mira se tixxaqqaq jew titlef
Sabiex tiġi żgurata l-konduttività termali, saff ta 'karta tal-grafita jista' jiġi kkuttunat bejn il-ħajt tat-tkessiħ tal-katodu u l-mira.Jekk jogħġbok agħti attenzjoni biex tiċċekkja bir-reqqa u ċċara l-flatness tal-ħajt tat-tkessiħ tal-pistola sputtering użata biex tiżgura li l-O-ring ikun dejjem f'postu.
Peress li l-indafa tal-ilma li jkessaħ użat u t-trab li jista 'jseħħ waqt it-tħaddim tat-tagħmir se jiġu depożitati fit-tank tal-ilma tat-tkessiħ tal-katodu, huwa meħtieġ li tiċċekkja u tnaddaf it-tank tal-ilma tat-tkessiħ tal-katodu meta tinstalla l-mira biex tiżgura l-bla xkiel. ċirkolazzjoni ta 'ilma li jkessaħ u li d-daħla u l-ħruġ mhux se jiġu mblukkati.
Xi katodi huma ppjanati li jkollhom spazju żgħir mal-anodu, għalhekk meta tinstalla l-mira, huwa meħtieġ li jiġi żgurat li ma jkun hemm l-ebda mess jew konduttur bejn il-katodu u l-anodu, inkella se jseħħ ċirkwit qasir.
Irreferi għall-Manwal tal-operatur tat-tagħmir għal informazzjoni dwar kif tħaddem il-mira b'mod korrett.Jekk ma jkunx hemm tali informazzjoni fil-manwal tal-utent, jekk jogħġbok ipprova tinstalla l-apparat skont is-suġġerimenti rilevanti pprovduti mill-metall Gaozhan.Meta tissikka l-apparat fil-mira, l-ewwel issikka bolt wieħed bl-idejn, u mbagħad issikka bolt ieħor fuq id-dijagonali bl-idejn.Irrepeti dan sakemm il-boltijiet kollha fuq l-apparat ikunu ssikkati, u mbagħad issikka b'xi ħaġa.
4、 Short circuit u spezzjoni issikkar
Wara t-tlestija tal-apparat fil-mira, huwa meħtieġ li tivverifika l-short circuit u l-issikkar tal-katodu kollu,
Huwa propost li jiġi ddeterminat jekk hemmx short circuit fil-katodu bl-użu ta 'meter tar-reżistenza
Diskriminazzjoni fil-fillieri.Wara li tikkonferma li m'hemm l-ebda ċirkwit qasir fil-katodu, jista 'jitwettaq skoperta ta' tnixxija, u l-ilma jista 'jiġi introdott fil-katodu biex jikkonferma jekk hemmx tnixxija ta' ilma.
5、 Target pre sputtering
Target pre sputtering favur l-argon pur sputtering, li jistgħu jitnaddfu l-wiċċ tal-mira.Meta l-mira hija pre sputtered, huwa rakkomandat li tiżdied bil-mod il-qawwa sputtering, u r-rata ta ' żieda fil-qawwa tal-mira taċ-ċeramika hija 1.5WH / cm2.Il-veloċità ta 'sputtering ta' qabel tal-mira tal-metall tista 'tkun ogħla minn dik tal-blokka tal-mira taċ-ċeramika, u rata raġonevoli ta' żieda fil-qawwa hija 1.5WH / cm2.
Fil-proċess ta 'pre sputtering, għandna bżonn niċċekkjaw l-ark tal-mira.Il-ħin ta 'qabel l-isputtering huwa ġeneralment ta' madwar 10 minuti.Jekk ma jkun hemm l-ebda fenomenu ta 'ark, iżżid kontinwament il-qawwa ta' sputtering
Għall-qawwa stabbilita.Skont l-esperjenza, il-qawwa aċċettabbli ta 'sputtering għolja Z tal-mira tal-metall hija
25watts / cm2, 10watts / cm2 għall-mira taċ-ċeramika.Jekk jogħġbok irreferi għall-bażi tal-issettjar u l-esperjenza tal-pressjoni tal-kamra tal-vakwu waqt l-isputtering fil-manwal tat-tħaddim tas-sistema tal-utent.Ġeneralment, għandu jiġi żgurat li t-temperatura tal-ilma fl-iżbokk tal-ilma li jkessaħ għandha tkun inqas minn 35 ℃, iżda Z huwa importanti li jiġi żgurat li s-sistema ta 'ċirkolazzjoni tal-ilma li jkessaħ tista' taħdem b'mod effettiv
Iċ-ċirkolazzjoni mgħaġġla ta 'l-ilma supercooling tneħħi s-sħana, li hija garanzija importanti biex tiżgura sputtering kontinwu b'qawwa għolja.Għall-miri tal-metall, huwa ġeneralment favur li l-fluss ta ' l-ilma tat-tkessiħ huwa
Il-pressjoni tal-ilma ta '20lpm hija madwar 5gmp;Għal miri taċ-ċeramika, ġeneralment huwa rrakkomandat li l-fluss tal-ilma huwa 30lpm u l-pressjoni tal-ilma hija madwar 9gmp
6、 Manutenzjoni fil-mira
Sabiex jiġu evitati short circuit u arcing ikkawżat minn kavità mhux nadifa fil-proċess ta 'sputtering, huwa meħtieġ li jitneħħa l-sputter akkumulat fiċ-ċentru u ż-żewġ naħat tal-binarju sputtering fi stadji,
Dan jgħin ukoll lill-utenti biex kontinwament sputter f'densità ta 'qawwa għolja z
7、 Ħażna fil-mira
Il-miri pprovduti mill-metall Gaozhan huma ppakkjati f'boroż tal-plastik vakwu b'saff doppju.Aħna nirrakkomandaw li l-utenti jżommu l-miri, kemm jekk tal-metall jew taċ-ċeramika, f'ippakkjar bil-vakwu.B'mod partikolari, il-miri tat-twaħħil jeħtieġ li jinħażnu taħt kundizzjonijiet tal-vakwu biex jipprevjenu l-ossidazzjoni tas-saff tat-twaħħil milli taffettwa l-kwalità tat-twaħħil.Fir-rigward tal-ippakkjar ta 'miri tal-metall, aħna nirrakkomandaw li Z għandu jiġi ppakkjat f'boroż tal-plastik nodfa
Ħin tal-post: Mejju-13-2022