Ħafna utenti ma jqisux ix-xiri ta 'miri minn perspettiva professjonali, allura x'għandha tingħata attenzjoni meta jixtru miri?Ejja nitolbu lill-Xiaobian ta 'Beijing Ruichi biex jindika l-kwistjonijiet li jeħtieġu attenzjoni meta jixtru miri.
L-ewwelnett, għall-mira, il-purità hija waħda mill-indikaturi funzjonali ewlenin tagħha, u l-purità tal-mira għandha impatt kbir fuq il-funzjoni tal-film tal-prodott aktar tard.Kull prodott għandu wkoll rekwiżiti differenti għall-purità tal-mira.
It-tieni nett, il-kontenut ta 'impurità ta' elementi individwali fil-mira.Wara serje ta 'proċessar fil-mira, l-impuritajiet fis-solidu fil-mira u l-ossiġnu u l-fwar tal-ilma fil-pori huma s-sorsi ewlenin tat-tniġġis tal-films depożitati.Minħabba l-użi differenti tal-miri, ir-rekwiżiti għal kontenut ta 'impurità differenti ta' miri b'użi differenti huma wkoll differenti.Pereżempju, miri tal-aluminju pur u liga tal-aluminju użati fl-industrija tas-semikondutturi issa għandhom rekwiżiti speċjali għall-kontenut ta 'metalli alkali u elementi radjuattivi.
Id-densità hija wkoll waħda mill-indiċi tal-prestazzjoni importanti tal-mira Fil-proċess tekniku tal-mira, sabiex jitnaqqsu l-pori fis-solidu fil-mira u tittejjeb il-funzjoni tal-film sputtered, il-mira hija ġeneralment meħtieġa li jkollha densità għolja.Id-densità karatteristika ewlenija tal-mira għandha influwenza kbira fuq ir-rata ta 'sputtering, u taffettwa l-funzjonijiet elettriċi u ottiċi tal-film.Iktar ma tkun għolja d-densità tal-mira, aħjar tkun il-funzjoni tal-film.
Fl-aħħarnett, id-daqs tal-qamħ u d-distribuzzjoni tal-qamħ.Normalment, il-materjal fil-mira huwa polikristallin, u d-daqs tal-qamħ jista 'jvarja minn mikron għal millimetru.Għall-istess mira, ir-rata ta 'sputtering tal-mira tal-qamħ fin hija aktar mgħaġġla minn dik tal-mira tal-qamħ oħxon;Il-ħxuna tal-films depożitati permezz ta 'sputtering fil-mira b'differenza żgħira fid-daqs tal-qamħ (dispersjoni uniformi) hija aktar uniformi.
Ħin tal-post: Ġunju-10-2022