Materjali fil-mira sputtered għandhom rekwiżiti għoljin waqt l-użu, mhux biss għall-purità u d-daqs tal-partiċelli, iżda wkoll għal daqs uniformi tal-partiċelli.Dawn ir-rekwiżiti għoljin jagħmluna nagħtu aktar attenzjoni meta nużaw materjali fil-mira sputtering.
1. Preparazzjoni ta 'sputtering
Huwa importanti ħafna li tinżamm l-indafa tal-kamra tal-vakwu, speċjalment is-sistema ta 'sputtering.Lubrikanti, trab, u kwalunkwe residwu minn kisjiet preċedenti jistgħu jakkumulaw sustanzi li jniġġsu bħall-ilma, li jaffettwaw direttament il-vakwu u jżidu l-probabbiltà ta 'falliment tal-formazzjoni tal-film.Ċirkwiti qosra, arcing fil-mira, uċuħ mhux maħduma li jiffurmaw film, u impuritajiet kimiċi eċċessivi huma ġeneralment ikkawżati minn kmamar ta 'sputtering mhux nodfa, pistoli, u miri.
Sabiex jinżammu l-karatteristiċi tal-kompożizzjoni tal-kisi, il-gass sputtering (argon jew ossiġnu) għandu jkun nadif u niexef.Wara l-installazzjoni tas-sottostrat fil-kamra tal-isputtering, l-arja jeħtieġ li tiġi estratta biex jinkiseb il-livell ta 'vakwu meħtieġ għall-proċess.
2. Tindif fil-mira
L-iskop tat-tindif tal-mira huwa li jitneħħa kwalunkwe trab jew ħmieġ li jista 'jkun hemm fuq il-wiċċ tal-mira.
3. Installazzjoni fil-mira
L-aktar ħaġa importanti li għandek tagħti attenzjoni matul il-proċess ta 'installazzjoni tal-materjal fil-mira hija li tiżgura konnessjoni termali tajba bejn il-materjal fil-mira u l-ħajt tat-tkessiħ tal-pistola sputtering.Jekk il-ħajt tat-tkessiħ jew il-pjanċa ta 'wara tkun imdawwar b'mod sever, jista' jikkawża qsim jew liwi waqt l-installazzjoni tal-materjal fil-mira.It-trasferiment tas-sħana mill-mira ta 'wara għall-materjal fil-mira se jkun affettwat ħafna, li jirriżulta fl-inkapaċità li tinħela s-sħana waqt sputtering, li fl-aħħar iwassal għal qsim jew devjazzjoni tal-materjal fil-mira.
4. Short circuit u spezzjoni tas-siġillar
Wara l-installazzjoni tal-materjal fil-mira, huwa meħtieġ li tivverifika l-short circuit u s-siġillar tal-katodu kollu.Huwa rakkomandat li tuża ohmmeter u megohmmeter biex tiddetermina jekk il-katodu huwiex short circuited.Wara li tikkonferma li l-katodu mhuwiex short circuited, tista 'titwettaq skoperta ta' tnixxija billi tinjetta ilma fil-katodu biex tiddetermina jekk hemmx xi tnixxija.
5. Materjal fil-mira qabel sputtering
Huwa rakkomandat li tuża gass argon pur għal sputtering minn qabel tal-materjal fil-mira, li jista 'jnaddaf il-wiċċ tal-materjal fil-mira.Huwa rakkomandat li tiżdied bil-mod il-qawwa sputtering matul il-proċess ta ' pre sputtering għall-materjal fil-mira.Il-qawwa tal-materjal tal-mira taċ-ċeramika
Ħin tal-post: Ottubru-19-2023