Kisi bil-vakwu jirreferi għat-tisħin u l-evaporazzjoni tas-sors tal-evaporazzjoni fil-vakwu jew sputtering b'bumbardament tal-jone aċċellerat, u jiddepożitaha fuq il-wiċċ tas-sottostrat biex tifforma film b'saff wieħed jew b'ħafna saffi.X'inhu l-prinċipju tal-kisi bil-vakwu?Sussegwentement, l-editur ta 'RSM se jintroduċiha lilna.
1. Kisi ta 'evaporazzjoni bil-vakwu
Il-kisi tal-evaporazzjoni jeħtieġ li d-distanza bejn il-molekuli tal-fwar jew l-atomi mis-sors tal-evaporazzjoni u s-sottostrat li għandu jkun miksi għandha tkun inqas mill-molekuli ħielsa medja tal-molekuli tal-gass residwu fil-kamra tal-kisi, sabiex jiġi żgurat li l-molekuli tal-fwar tal- l-evaporazzjoni tista 'tilħaq il-wiċċ tas-sottostrat mingħajr ħabta.Żgura li l-film huwa pur u sod, u l-evaporazzjoni mhux se jossidizza.
2. Kisi ta 'sputtering bil-vakwu
Fil-vakwu, meta l-jonji aċċellerati jaħbtu mas-solidu, min-naħa waħda, il-kristall ikun bil-ħsara, min-naħa l-oħra, jaħbtu ma 'l-atomi li jiffurmaw il-kristall, u finalment l-atomi jew il-molekuli fuq il-wiċċ tas-solidu sputter barra.Il-materjal sputtered huwa miksi fuq is-sottostrat biex jifforma film irqiq, li jissejjaħ kisi sputter vakwu.Hemm ħafna metodi sputtering, fosthom diode sputtering huwa l-aktar wieħed bikri.Skond miri katodi differenti, jista 'jinqasam f'kurrent dirett (DC) u frekwenza għolja (RF).In-numru ta 'atomi sputtered billi jolqot il-wiċċ fil-mira b'jone jissejjaħ rata ta' sputtering.B'rata għolja ta 'sputtering, il-veloċità tal-formazzjoni tal-film hija mgħaġġla.Ir-rata ta 'sputtering hija relatata mal-enerġija u t-tip ta' joni u t-tip ta 'materjal fil-mira.B'mod ġenerali, ir-rata ta 'sputtering tiżdied biż-żieda tal-enerġija tal-joni tal-bniedem, u r-rata ta' sputtering ta 'metalli prezzjużi hija ogħla.
Ħin tal-post: Lulju-14-2022