Il-materjal fil-mira użat fl-industrija tal-ħażna tad-dejta jeħtieġ purità għolja, u l-impuritajiet u l-pori għandhom jiġu minimizzati biex tiġi evitata l-ġenerazzjoni ta 'partiċelli ta' impurità waqt l-isputtering.Il-materjal fil-mira użat għal prodotti ta 'kwalità għolja jeħtieġ li d-daqs tal-partiċelli tal-kristall tiegħu għandu jkun żgħir u uniformi, u m'għandux orjentazzjoni tal-kristall.Hawn taħt, ejja nagħtu ħarsa lejn ir-rekwiżiti tal-industrija tal-ħażna ottika għall-materjal fil-mira?
1. Purità
F'applikazzjonijiet prattiċi, il-purità tal-materjali fil-mira tvarja skond l-industriji u r-rekwiżiti differenti.Madankollu, b'mod ġenerali, iktar ma tkun għolja l-purità tal-materjal fil-mira, aħjar tkun il-prestazzjoni tal-film sputtered.Pereżempju, fl-industrija tal-ħażna ottika, il-purità tal-materjal fil-mira hija meħtieġa li tkun akbar minn 3N5 jew 4N
2. Kontenut ta' impurità
Il-materjal fil-mira jservi bħala s-sors tal-katodu fl-isputtering, u l-impuritajiet fis-solidu u l-ossiġnu u l-fwar tal-ilma fil-pori huma s-sorsi ewlenin tat-tniġġis għad-depożitu ta 'films irqaq.Barra minn hekk, hemm rekwiżiti speċjali għal miri ta 'użi differenti.Meta tieħu l-industrija tal-ħażna ottika bħala eżempju, il-kontenut ta 'impurità fil-miri ta' sputtering għandu jiġi kkontrollat baxx ħafna biex tiġi żgurata l-kwalità tal-kisi.
3. Id-daqs tal-qamħ u d-distribuzzjoni tad-daqs
Normalment, il-materjal fil-mira għandu struttura polikristallina, b'daqsijiet tal-qamħ li jvarjaw minn mikrometri għal millimetri.Għal miri bl-istess kompożizzjoni, ir-rata ta 'sputtering ta' miri ta 'qamħ fin hija aktar mgħaġġla minn dik ta' miri ta 'qamħ oħxon.Għal miri b'differenzi iżgħar fid-daqs tal-qamħ, il-ħxuna tal-film depożitat se tkun ukoll aktar uniformi.
4. Kompattezza
Sabiex titnaqqas il-porożità fil-materjal solidu fil-mira u tittejjeb il-prestazzjoni tal-film, ġeneralment huwa meħtieġ li l-materjal fil-mira tal-isputtering ikollu densità għolja.Id-densità tal-materjal fil-mira tiddependi prinċipalment fuq il-proċess ta 'preparazzjoni.Il-materjal fil-mira manifatturat bil-metodu tat-tidwib u l-ikkastjar jista 'jiżgura li ma jkunx hemm pori ġewwa l-materjal fil-mira u d-densità hija għolja ħafna.
Ħin tal-post: Lulju-18-2023