Irridu nkunu familjari ħafna mal-mira issa, issa s-suq fil-mira qed jiżdied ukoll, dan li ġej huwa x'inhi l-prestazzjoni ewlenija tal-mira sputtering kondiviża mill-editur minn RSM
Il-purità
Il-purità tal-materjal fil-mira hija waħda mill-indiċi tal-prestazzjoni ewlenin, minħabba li l-purità tal-materjal fil-mira għandha influwenza kbira fuq il-prestazzjoni tal-film irqiq.Madankollu, fl-applikazzjoni prattika, ir-rekwiżiti tal-purità tal-materjali fil-mira mhumiex l-istess.Pereżempju, bl-iżvilupp mgħaġġel tal-industrija tal-mikroelettronika, id-daqs taċ-ċippa tas-silikon ġie żviluppat minn 6 ", 8 "sa 12", u l-wisa 'tal-wajers tnaqqset minn 0.5um għal 0.25um, 0.18um jew saħansitra 0.13um.Preċedentement, il-purità ta 'materjal fil-mira ta' 99.995% tista 'tissodisfa r-rekwiżiti tal-proċess ta' 0.35umIC.Il-purità tal-materjal fil-mira hija 99.999% jew saħansitra 99.9999% għall-preparazzjoni ta 'linji 0.18um.
Kontenut ta' impurità
L-impuritajiet fis-solidu fil-mira u l-ossiġnu u l-fwar tal-ilma fil-pori huma s-sorsi ewlenin tat-tniġġis tad-depożizzjoni tal-film.Materjali fil-mira għal skopijiet differenti għandhom rekwiżiti differenti għal kontenut ta 'impurità differenti.Pereżempju, miri ta 'aluminju pur u liga ta' aluminju użati fl-industrija tas-semikondutturi għandhom rekwiżiti speċjali għall-kontenut ta 'metalli alkali u elementi radjuattivi.
Id-densità
Sabiex titnaqqas il-porożità fis-solidu fil-mira u tittejjeb il-prestazzjoni tal-film sputtering, normalment tkun meħtieġa densità għolja tal-mira.Id-densità tal-mira taffettwa mhux biss ir-rata ta 'sputtering iżda wkoll il-proprjetajiet elettriċi u ottiċi tal-film.Iktar ma tkun għolja d-densità tal-mira, aħjar tkun il-prestazzjoni tal-film.Barra minn hekk, iż-żieda tad-densità u s-saħħa tal-mira tagħmel il-mira tiflaħ aħjar l-istress termali fil-proċess ta 'sputtering.Id-densità hija wkoll waħda mill-indiċi tal-prestazzjoni ewlenin tal-mira.
Id-daqs tal-qamħ u d-distribuzzjoni tad-daqs tal-qamħ
Il-mira hija ġeneralment polikristallina b'daqs tal-qamħ li jvarja minn mikrometru għal millimetru.Għall-istess mira, ir-rata ta 'sputtering tal-mira bi ħbub żgħar hija aktar mgħaġġla minn dik tal-mira bi ħbub kbar.Id-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-films depożitati mill-mira sputtering b'differenza iżgħar fid-daqs tal-qamħ (distribuzzjoni uniformi) hija aktar uniformi.
Ħin tal-post: Awissu-04-2022