Kif nafu lkoll, l-evaporazzjoni bil-vakwu u sputtering tal-jone huma komunement użati fil-kisi bil-vakwu.X'inhi d-differenza bejn il-kisi ta 'evaporazzjoni u l-kisi ta' sputtering?Sussegwentement, l-esperti tekniċi minn RSM se jaqsmu magħna.
Kisi ta 'evaporazzjoni bil-vakwu huwa li ssaħħan il-materjal li għandu jiġi evaporat għal ċerta temperatura permezz ta' tisħin tar-reżistenza jew raġġ ta 'elettroni u bumbardament bil-lejżer f'ambjent bi grad ta' vakwu ta 'mhux inqas minn 10-2Pa, sabiex l-enerġija tal-vibrazzjoni termali tal-molekuli jew atomi fil-materjal jaqbeż l-enerġija li torbot tal-wiċċ, sabiex numru kbir ta 'molekuli jew atomi jevaporaw jew jissublimaw, u jippreċipitaw direttament fuq is-sottostrat biex jiffurmaw film.Il-kisi ta 'sputtering tal-jone juża l-moviment b'veloċità għolja ta' joni pożittivi ġġenerati mill-iskarigu tal-gass taħt l-azzjoni tal-kamp elettriku biex jibbumbardja l-mira bħala l-katodu, sabiex l-atomi jew il-molekuli fil-mira jaħarbu u jippreċipitaw lejn il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol indurati biex jiffurmaw il-film meħtieġ.
L-aktar metodu użat komunement ta 'kisi ta' evaporazzjoni bil-vakwu huwa t-tisħin tar-reżistenza, li għandu l-vantaġġi ta 'struttura sempliċi, spiża baxxa u tħaddim konvenjenti;L-iżvantaġġ huwa li mhuwiex adattat għal metalli refrattarji u materjali dielettriċi reżistenti għal temperatura għolja.It-tisħin tar-raġġ tal-elettroni u t-tisħin bil-lejżer jistgħu jegħlbu n-nuqqasijiet tat-tisħin tar-reżistenza.Fit-tisħin tar-raġġ tal-elettroni, ir-raġġ tal-elettroni ffukat jintuża biex isaħħan direttament il-materjal bbumbardjat, u l-enerġija kinetika tar-raġġ tal-elettroni ssir enerġija tas-sħana, li tagħmel il-materjal jevapora.It-tisħin bil-lejżer juża laser ta 'qawwa għolja bħala s-sors tat-tisħin, iżda minħabba l-ispiża għolja ta' laser ta 'qawwa għolja, jista' jintuża biss fi ftit laboratorji ta 'riċerka fil-preżent.
It-teknoloġija tal-sputtering hija differenti mit-teknoloġija tal-evaporazzjoni bil-vakwu."Sputtering" tirreferi għall-fenomenu li partiċelli ċċarġjati jibbumbardjaw il-wiċċ solidu (mira) u jagħmlu atomi jew molekuli solidi jisparaw mill-wiċċ.Ħafna mill-partiċelli emessi huma fi stat atomiku, li ħafna drabi jissejjaħ atomi sputtered.Il-partiċelli sputtered użati biex jibbumbardjaw il-mira jistgħu jkunu elettroni, joni jew partiċelli newtrali.Minħabba li l-joni huma faċli biex jaċċelleraw taħt il-kamp elettriku biex jiksbu l-enerġija kinetika meħtieġa, ħafna minnhom jużaw joni bħala partiċelli bbumbardjati.Il-proċess ta 'sputtering huwa bbażat fuq ħruġ ta' glow, jiġifieri, joni ta 'sputtering ġejjin minn skariku tal-gass.Teknoloġiji ta 'sputtering differenti jadottaw modi differenti ta' skariku ta 'glow.DC diode sputtering juża DC glow discharge;Triode sputtering huwa discharge glow appoġġjati minn katodu sħun;RF sputtering juża RF glow discharge;Magnetron sputtering huwa discharge glow kkontrollata minn kamp manjetiku annulari.
Meta mqabbel mal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu, il-kisi tal-sputtering għandu ħafna vantaġġi.Pereżempju, kwalunkwe sustanza tista 'tiġi sputtered, speċjalment elementi u komposti b'punt ta' tidwib għoli u pressjoni baxxa tal-fwar;L-adeżjoni bejn il-film sputtered u s-sottostrat hija tajba;Densità għolja tal-film;Il-ħxuna tal-film tista 'tiġi kkontrollata u r-ripetibbiltà hija tajba.L-iżvantaġġ huwa li t-tagħmir huwa kumpless u jeħtieġ apparat ta 'vultaġġ għoli.
Barra minn hekk, il-kombinazzjoni ta 'metodu ta' evaporazzjoni u metodu ta 'sputtering hija kisi tal-jone.Il-vantaġġi ta 'dan il-metodu huma li l-film miksub għandu adeżjoni qawwija mas-sottostrat, rata għolja ta' depożizzjoni u densità għolja tal-film.
Ħin tal-post: Lulju-20-2022