Fil-preżent, kważi l-miri tar-ram tal-metall ta 'purità ultra-għolja kollha meħtieġa mill-industrija IC huma monopolizzati minn bosta kumpaniji multinazzjonali barranin kbar.Il-miri tar-ram ultrapur kollha meħtieġa mill-industrija domestika tal-IC jeħtieġ li jiġu importati, li mhux biss jiswew ħafna flus, iżda wkoll ikkumplikati fil-proċeduri tal-importazzjoni Għalhekk, iċ-Ċina teħtieġ b'mod urġenti ttejjeb l-iżvilupp u l-verifika ta 'miri ta' sputtering tar-ram ta 'purità ultra-għolja (6N) .Ejja nagħtu ħarsa lejn il-punti ewlenin u d-diffikultajiet fl-iżvilupp ta 'miri ta' sputtering tar-ram ta 'purità ultra-għolja (6N).
1、Żvilupp ta 'materjali ta' purità ultra għolja
It-teknoloġija ta 'purifikazzjoni ta' metalli Cu, Al u Ta ta 'purità għolja fiċ-Ċina hija 'l bogħod minn dik fil-pajjiżi żviluppati industrijali.Fil-preżent, ħafna mill-metalli ta 'purità għolja li jistgħu jiġu pprovduti ma jistgħux jissodisfaw ir-rekwiżiti ta' kwalità ta 'ċirkwiti integrati għal miri sputtering skond il-metodi konvenzjonali ta' analiżi ta 'elementi kollha fl-industrija.In-numru ta' inklużjonijiet fil-mira huwa għoli wisq jew imqassam b'mod irregolari.Partiċelli ħafna drabi huma ffurmati fuq il-wejfer waqt sputtering, li jirriżulta f'ċirkwit qasir jew ċirkwit miftuħ ta 'interkonnessjoni, li jaffettwa serjament il-prestazzjoni tal-film.
2、Żvilupp tat-teknoloġija tal-preparazzjoni tal-mira sputtering tar-ram
L-iżvilupp tat-teknoloġija tal-preparazzjoni tal-mira sputtering tar-ram jiffoka prinċipalment fuq tliet aspetti: daqs tal-qamħ, kontroll tal-orjentazzjoni u uniformità.L-industrija tas-semikondutturi għandha l-ogħla rekwiżiti għall-miri sputtering u l-evaporazzjoni tal-materja prima.Għandu rekwiżiti stretti ħafna għall-kontroll tad-daqs tal-qamħ tal-wiċċ u l-orjentazzjoni tal-kristall tal-mira.Id-daqs tal-qamħ tal-mira għandu jiġi kkontrollat f'100μ M hawn taħt, għalhekk, il-kontroll tad-daqs tal-qamħ u l-mezzi ta 'analiżi u skoperta ta' korrelazzjoni huma importanti ħafna għall-iżvilupp ta 'miri tal-metall.
3、Żvilupp ta 'analiżi uittestjar teknoloġija
Il-purità għolja tal-mira tfisser it-tnaqqis tal-impuritajiet.Fl-imgħoddi, intużaw spettrometrija ta' plażma akkoppjata b'mod induttiv (ICP) u ta' assorbiment atomiku biex jiddeterminaw l-impuritajiet, iżda f'dawn l-aħħar snin, l-analiżi tal-kwalità tad-discharge glow (GDMS) b'sensittività ogħla ġiet użata gradwalment bħala l-istandard metodu.Il-metodu RRR tal-proporzjon tar-reżistenza residwa jintuża prinċipalment għad-determinazzjoni tal-purità elettrika.Il-prinċipju tad-determinazzjoni tiegħu huwa li tevalwa l-purità tal-metall bażiku billi tkejjel il-grad ta 'dispersjoni elettronika ta' impuritajiet.Minħabba li huwa biex titkejjel ir-reżistenza f'temperatura tal-kamra u temperatura baxxa ħafna, huwa sempliċi li tieħu n-numru.F'dawn l-aħħar snin, sabiex tiġi esplorata l-essenza tal-metalli, ir-riċerka dwar purità ultra-għolja hija attiva ħafna.F'dan il-każ, il-valur RRR huwa l-aħjar mod biex tiġi evalwata l-purità.
Ħin tal-post: Mejju-06-2022