Kif nafu lkoll, hemm ħafna speċifikazzjonijiet ta 'miri ta' sputtering, u l-oqsma ta 'applikazzjoni tagħhom huma wkoll wiesgħa ħafna.It-tipi ta' miri użati komunement f'oqsma differenti huma wkoll differenti.Illum, ejja nitgħallmu dwar il-klassifikazzjoni tal-oqsma ta 'applikazzjoni fil-mira sputtering mal-editur ta' RSM!
1、 Definizzjoni ta ' mira sputtering
Sputtering hija waħda mit-teknoloġiji ewlenin għall-preparazzjoni ta 'materjali ta' film irqiq.Juża l-jonji prodotti mis-sors tal-jone biex jaċċellera u jiġbor fil-vakwu biex jifforma raġġ tal-jone b'veloċità għolja, jibbumbardja l-wiċċ solidu, u l-joni jiskambjaw enerġija kinetika mal-atomi fuq il-wiċċ solidu, sabiex l-atomi fuq is-solidu wiċċ huma separati mis-solidu u depożitati fuq il-wiċċ tas-sottostrat.Is-solidu bbumbardjat huwa l-materja prima għall-preparazzjoni tal-film irqiq depożitat permezz ta 'sputtering, li tissejjaħ sputtering target.
2、 Klassifikazzjoni ta ' l-oqsma ta ' applikazzjoni fil-mira sputtering
1. Mira tas-semikondutturi
(1) Miri komuni: miri komuni f'dan il-qasam jinkludu metalli b'punt ta 'tidwib għoli bħal tantalu / ram / titanju / aluminju / deheb / nikil.
(2) Użu: prinċipalment użat bħala materja prima ewlenija għal ċirkwiti integrati.
(3) Rekwiżiti ta 'prestazzjoni: rekwiżiti tekniċi għoljin għal purità, daqs, integrazzjoni, eċċ.
2. Mira għall-wiri fuq panew ċatt
(1) Miri komuni: miri komuni f'dan il-qasam jinkludu aluminju / ram / molibdenu / nikil / Nijobju / silikon / kromju, eċċ.
(2) Użu: dan it-tip ta 'mira jintuża l-aktar għal diversi tipi ta' films ta 'żona kbira bħal televiżjonijiet u notebooks.
(3) Rekwiżiti ta 'prestazzjoni: rekwiżiti għoljin għal purità, żona kbira, uniformità, eċċ.
3. Materjal fil-mira għal ċellula solari
(1) Miri komuni: aluminju / ram / molibdenu / kromju / ITO / Ta u miri oħra għal ċelloli solari.
(2) Użu: prinċipalment użat f'"saff ta 'tieqa", saff ta' barriera, elettrodu u film konduttiv.
(3) Rekwiżiti ta 'prestazzjoni: rekwiżiti tekniċi għoljin u firxa wiesgħa ta' applikazzjoni.
4. Mira għall-ħażna ta 'informazzjoni
(1) Miri komuni: miri komuni ta 'kobalt / nikil / ferroalloy / kromju / tellurju / selenju u materjali oħra għall-ħażna ta' informazzjoni.
(2) Użu: dan it-tip ta 'materjal fil-mira jintuża prinċipalment għar-ras manjetika, is-saff tan-nofs u s-saff tal-qiegħ ta' drive ottiku u diska ottika.
(3) Rekwiżiti ta 'prestazzjoni: huma meħtieġa densità għolja ta' ħażna u veloċità għolja ta 'trażmissjoni.
5. Mira għall-modifika tal-għodda
(1) Miri komuni: miri komuni bħal liga ta 'aluminju tat-titanju / żirkonju / kromju modifikata b'għodda.
(2) Użu: normalment użat għat-tisħiħ tal-wiċċ.
(3) Rekwiżiti ta 'prestazzjoni: rekwiżiti ta' prestazzjoni għolja u ħajja twila ta 'servizz.
6. Miri għal apparat elettroniku
(1) Miri komuni: miri komuni ta 'liga ta' aluminju / siliċidu għal apparat elettroniku
(2) Għan: ġeneralment użat għal resistors u capacitors tal-film irqiq.
(3) Rekwiżiti ta 'prestazzjoni: daqs żgħir, stabbiltà, koeffiċjent ta' temperatura ta 'reżistenza baxxa
Ħin tal-post: Lulju-27-2022