Vantaġġi ta 'miri sputtering magnetron ċilindriċi u planari

Konsulent tekniku ta 'RSM se jaqsam miegħek il-vantaġġi ta' miri ta 'sputtering magnetron ċilindriċi u planari?Meta mqabbel ma 'miri oħra ta' magnetron sputtering, miri ċilindriċi u planari magnetron sputtering iżommu l-vantaġġi ta 'uniformità tajba ta' kisi ta 'miri planari rettangolari, u jistgħu jimmassimizzaw l-utilizzazzjoni tal-miri permezz taż-żewġ modi li ġejjin:

(1) Meta ż-żewġ gruppi (erba ') ta' fosos annulari fuq il-wiċċ tal-mira jilħqu ċertu fond, il-qalba tal-mira (parti tal-kalamita) tista 'tiddawwar 45 ° relattiva għat-tubu tal-mira, sabiex żoni oħra fuq it-tubu tal-mira li ma ġewx imsadda jistgħu jintużaw;

(2) Meta l-qalba tal-mira tal-mira ċilindrika u planari tal-magnetron sputtering hija ddisinjata bħala qalba tal-mira li ddur (il-qalba tal-mira tkun iddur waqt l-isputtering), il-wiċċ tal-mira jista 'jiġi sputtered b'mod uniformi saff b'saff mingħajr fosos.F'dan iż-żmien, il-mira se tintuża bl-aktar mod effettiv, u r-rata ta 'utilizzazzjoni tal-mira tista' tilħaq 50% ~ 60% Meta l-materjal fil-mira jkun metall prezzjuż, dan ovvjament huwa ta 'sinifikat kbir.

Bl-użu tal-prinċipju ta 'kalamita b'żarbun ta' l-arblu f'mira ta 'sputtering ta' magnetron ċilindriku koassjali biex issolvi l-problema tal-kamp manjetiku tat-tarf, il-mira tal-pjan rettangolari tista 'tiġi ttrasformata f'mira ta' sputtering ta 'magnetron ċilindriku u planari, Il-mira tista' timmassimizza r-rata ta 'utilizzazzjoni tal-mira filwaqt li żżomm l-uniformità tajba tal-kisi tal-mira tal-pjan rettangolari Sabiex ittejjeb il-benefiċċji ekonomiċi.